Визуализация динамики микромеханических гироскопов

Е.Е. Бессчастнова, И.А. Комарова,  В.М. Мусалимов  (С. Петербург)

Исследуется динамика кремниевых микромеханических гироскопов. Среди сложных современных приборов этим гироскопам принадлежит особое место: они миниатюрны; изготовлены из монокристаллического кремния, который обладает замечательными механическими свойствами; технология изготовления конструкции гироскопа (травление - температурная обработка - нарезка) неизбежно приводят к конструктивной нелинейности; вместо традиционного маховика используется электростатическое возбуждение изгибно-крутительных колебаний упругих (кремниевых) подвесов.

Уравнения движения гироскопа, таким образом, строятся с учетом существенного вклада упруго-нелиненых составляющих. Приводится система уравнений движения, которая исследуется с использованием ППП Matlab (Simulink).